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本发明公开了一种TFT的制造方法,用于改善TFT的漏电流,提高LDD掺杂精度,且制造方法简单,适用于大规模生产。所述方法为:对TFT除沟道区外的所有区域进行LDD掺杂;使TFT栅极金属的源极电极一侧及漏极电极一侧均形成金属膜;以所述金属膜为...该专利属于京东方科技集团股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过京东方科技集团股份有限公司授权不得商用。
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本发明公开了一种TFT的制造方法,用于改善TFT的漏电流,提高LDD掺杂精度,且制造方法简单,适用于大规模生产。所述方法为:对TFT除沟道区外的所有区域进行LDD掺杂;使TFT栅极金属的源极电极一侧及漏极电极一侧均形成金属膜;以所述金属膜为...