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微沉积装置制造方法及图纸
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下载微沉积装置的技术资料
文档序号:769920
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按照本发明的一种微沉积装置和方法,用于将一种液体制造材料沉积在一个基底上,以形成微结构。该装置包括一个微沉积头部,安装在一个头部支承上,以及保持在一个基底上面,而基底是安装在一个工作台上,与微沉积头部可控制地对准。一个控制系统移动此工作台,...
该专利属于利特斯公司所有,仅供学习研究参考,未经过利特斯公司授权不得商用。
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