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记述了一种制备三氯甲硅烷的方法，其中使硅颗粒与四氯化硅和氢气以及任选地与氯化氢在流化床反应器(101)中反应形成含三氯甲硅烷的产物气体流，其中所述含三氯甲硅烷的产物气体流通过位于至少一个颗粒分离器(118)之后的出口(117)从反应器(10...
该专利属于施米德硅晶片科技有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过施米德硅晶片科技有限责任公司授权不得商用。

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