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本发明提供一种涂敷装置，其具有当狭缝喷嘴进行涂敷而移动时能抑制起伏的构造。在为了对放置于载台（２）上的玻璃衬底（Ｗ）涂敷涂敷液，而从狭缝喷嘴（１０）向衬底（Ｗ）的表面喷出涂敷液，同时利用线性马达使移动体（３）移动时，由于驱动装置（１１）的重...该专利属于东京应化工业株式会社;龙云株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过东京应化工业株式会社;龙云株式会社授权不得商用。
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本发明提供一种涂敷装置，其具有当狭缝喷嘴进行涂敷而移动时能抑制起伏的构造。在为了对放置于载台（２）上的玻璃衬底（Ｗ）涂敷涂敷液，而从狭缝喷嘴（１０）向衬底（Ｗ）的表面喷出涂敷液，同时利用线性马达使移动体（３）移动时，由于驱动装置（１１）的重...