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本实用新型涉及一种小面积衬底表面喷射裂解硒源用装置，包括硒源蒸发室和衬底，其特点：所述固态硒上面的硒源蒸发室内固装有两层均匀布满孔径小于0.5mm的多孔栅板；两层多孔栅板之间形成高温裂解室，上一层的多孔栅板的上面出口为裂解硒源出口。本实用新...
该专利属于中国电子科技集团公司第十八研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国电子科技集团公司第十八研究所授权不得商用。

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