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公开了一种包括薄膜晶体管和连接至该薄膜晶体管的布线的半导体装置,其中,该薄膜晶体管具有处于氧化物半导体层中的沟道形成区,并且将铜金属用于栅极电极、源极电极、漏极电极、栅极布线、源极布线以及漏极布线中的至少一个。具有氧化物半导体层的晶体管的极...
该专利属于株式会社半导体能源研究所所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社半导体能源研究所授权不得商用。

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