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用于抑制金属微细结构体的图案倒塌的处理液和使用其的金属微细结构体的制造方法技术
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文档序号:7685183
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一种用于抑制金属微细结构体的图案倒塌的处理液,以及使用该处理液的金属微细结构体的制造方法,所述处理液含有具有烃基且包含氧亚乙基结构的图案倒塌抑制剂,所述烃基包含可以一部分或全部被氟取代的烷基和烯基的任一种。...
该专利属于三菱瓦斯化学株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过三菱瓦斯化学株式会社授权不得商用。
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