下载用于压制陶瓷蜂窝状结构的高分辨率大视场扫描检查系统的技术资料

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披露一种用于检查压制陶瓷蜂窝状结构的高分辨率、大视场的扫描检查系统。该系统允许通过在线式照明在多个胞室的至少一部分上进行扫描时、沿光轴来捕获经照明胞室的线图来检查细胞状陶瓷基底的端面。该检查方法包括使线式照明在光轴上定心,以致使线式照明正交...
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