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用于压制陶瓷蜂窝状结构的高分辨率大视场扫描检查系统技术方案
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文档序号:7684912
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披露一种用于检查压制陶瓷蜂窝状结构的高分辨率、大视场的扫描检查系统。该系统允许通过在线式照明在多个胞室的至少一部分上进行扫描时、沿光轴来捕获经照明胞室的线图来检查细胞状陶瓷基底的端面。该检查方法包括使线式照明在光轴上定心,以致使线式照明正交...
该专利属于康宁股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过康宁股份有限公司授权不得商用。
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