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本发明提供了一种用于检查基板(10)的光学检查系统(41，42，43，44，45)。所述系统(41，42，43，44，45)包括照相机(2A-2H)的阵列(4)，所述照相机(2A-2H)的阵列(4)被构造成在所述基板(10)和所述阵列(4)...
该专利属于赛博光学公司所有，仅供学习研究参考，未经过赛博光学公司授权不得商用。

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