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本发明公开了一种微型电机系统（MEMS）的微型继电器，包括：一基层盖（capsubstrate）、一第一电气触头、一引动器和一第二电气触头。第一电气触头形成在该基层盖上，其包括一铂族金属和一铂族金属氧化物形成的第一表层。第二电气触头形成于该...
该专利属于马克西姆综合产品公司所有，仅供学习研究参考，未经过马克西姆综合产品公司授权不得商用。

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