温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型公开了一种复合磨粒，以聚甲基丙烯酸酯为核，其特征在于：在聚甲基丙烯酸酯核外包括均匀覆盖的氧化铈壳。借助这种核壳结构有机/无机复合磨粒所独特的内柔外硬、非刚性的力学特性，预期在CMP过程中充分发挥其有机微球内核的弹性与CeO2壳层的...
该专利属于张莉娟所有，仅供学习研究参考，未经过张莉娟授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。