下载新型36对棒多晶硅还原炉电气系统结构的技术资料

文档序号:7651070

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本实用新型公开新型36对棒多晶硅还原炉电气系统结构,包括分三圈布置的36对硅棒,其中:内圈分布6对硅棒、中圈分布12对硅棒、外圈分布18对硅棒;内圈第一组串联2对硅棒、中圈第一组串联4对硅棒和外圈第一组串联6对硅棒串联后与第一12对棒调压器...
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