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本发明公开了一种多探针平面度检测仪及其相应的检测方法，该检测仪包括测量探针阵列、测量物镜、干涉显微镜、CCD成像装置、垂直扫描工作台和水平工作台，其中干涉显微镜和CCD成像装置设置在垂直扫描工作台上，分别用于形成光的干涉条纹和干涉条纹的成像...
该专利属于华中科技大学所有，仅供学习研究参考，未经过华中科技大学授权不得商用。

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