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用于增加光阻移除率之装置及等离子体灰化方法制造方法及图纸
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下载用于增加光阻移除率之装置及等离子体灰化方法的技术资料
文档序号:7641443
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本发明涉及等离子体灰化方法,该方法包括:以一实质上无氧无氮之气体混合物形成一等离子体;将该等离子体导引入一处理室,其中该处理室包含一和等离子体流体连通之阻隔平板组件;使该等离子体流经该阻隔平板组件,并自基板移除光阻剂材料、后蚀刻残留物、和挥...
该专利属于艾克塞利斯技术公司所有,仅供学习研究参考,未经过艾克塞利斯技术公司授权不得商用。
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