下载薄膜晶体管阵列基板及其制作方法的技术资料

文档序号:7640970

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本发明公开了一种薄膜晶体管阵列基板及其制作方法,薄膜晶体管阵列基板包括扫描线和信号线,所述扫描线由第一金属层形成,所述信号线由第二金属层形成;所述第一金属层和第二金属层皆为复层结构,该复层结构包括一主导电层及至少一阻挡层,所述主导电层内部设...
该专利属于深圳市华星光电技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过深圳市华星光电技术有限公司授权不得商用。

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