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本发明公开了一种具有环状电极的薄膜体声波谐振生化传感器，包括上电极、下电极、压电薄膜和声隔离层，其中上电极为同圆心的内外两层圆环形状，由内层实心圆和外层空心圆环组成，下电极为与上电极为同圆心的空心圆环形状，上电极与下电极在圆环的垂直方向上没...
该专利属于山东科技大学所有，仅供学习研究参考，未经过山东科技大学授权不得商用。

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