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多晶硅太阳电池制程中所用混酸溶液的检测方法技术
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文档序号:7637836
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本发明公开了一种多晶硅太阳电池制程中所用混酸溶液的检测方法,用于检测由氢氟酸、硝酸和氟硅酸构成的混酸体系,包括以下步骤:先通过酸碱中和的方法检测出溶液中的总酸浓度;然后将经酸碱中和后的溶液加热煮沸,使氟硅酸盐分解产生氢离子,用碱液滴定测出氢...
该专利属于昊诚光电(太仓)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过昊诚光电(太仓)有限公司授权不得商用。
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