下载半导体精密薄片金刚石砂线切割液及其制备方法的技术资料

文档序号:7633195

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本发明涉及一种半导体精密薄片金刚石砂线切割液,其原料由如下质量份数比的组分组成,包括30-80的多元醇、0.01-0.5的氢气抑制剂、0.01-0.5的酸、0.1-1.0的表面活性剂、1.0-10.0的分散剂、0.01-0.5的防腐剂和10...
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