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一种气体稳压定量稀薄化部件及其用途制造技术
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文档序号:7632280
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本发明涉及一种应用于质谱等气体检测器的进样气稳压定量稀薄化部件,按进样气体流向由三通接头(T1)、真空稀薄室(S1)、真空调节系统构成,真空稀薄室(S1)通过三通接头(T1)与进样气体连接,三通接头(T1)另一接口与其他检测器(J2)连接或...
该专利属于中国科学院过程工程研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院过程工程研究所授权不得商用。
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