温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明提供一种硅材料的压差湿处理装置，包括：压差容器；在压差容器的内部，通过支架设置有用于安放硅材料的载料构件；在压差容器的顶部设有密封盖；压差容器的壁面上设有超纯水入口，液位接口，排液接口，压缩气体接口和真空接口。另外，本发明还提供一种硅...
该专利属于上海思恩电子技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海思恩电子技术有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。