下载在超级结MOSFET中集成肖特基二极管的方法的技术资料

文档序号:7620222

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本发明公开了一种在超级结MOSFET中集成肖特基二极管的方法,为在超级结MOSFET中并联集成有由肖特基接触与衬底形成的肖特基二极管,肖特基二极管的阳极位于超级结MOSFET元胞区域的源端两个体区之间的漂移区上,肖特基二极管的阳极与超级结M...
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