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本发明涉及粒子束装置，其包括粒子束发生器、用于将由粒子束发生器产生的粒子束聚焦在目标平面上的物镜。物镜确定光轴。粒子束装置还包括用于偏转目标平面上的粒子束的第一和第二偏转系统，第一和第二偏转系统连续依次沿光轴设置。在第一运行模式中，第一偏转...该专利属于卡尔蔡司NTS有限责任公司;卡尔蔡司NTS有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过卡尔蔡司NTS有限责任公司;卡尔蔡司NTS有限公司授权不得商用。