下载升级冶金级硅原料的质量控制方法的技术资料

文档序号:7610403

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本发明提供一种用于确定UMG-Si原料批中的硼和磷浓度的质量控制方法。通过来自于UMG-Si原料批的熔化UMG-Si的定向固化形成硅测试锭。测量所述硅测试锭的自上而下的电阻率。然后,映射所述硅测试锭的电阻率分布。基于所述硅测试锭的所述电阻率...
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