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层叠衍射光学元件和光学系统技术方案
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下载层叠衍射光学元件和光学系统的技术资料
文档序号:7607410
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层叠衍射光学元件包括彼此层叠的多个衍射光栅21、22和23,各个衍射光栅由相同的透光材料形成。在该元件中,反射膜形成在各个衍射光栅的光栅表面11和12上,每个反射膜设置在衍射光栅之间。每个反射膜反射特定的波长范围中的光,并且透射与该特定的波...
该专利属于佳能株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过佳能株式会社授权不得商用。
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