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用于AVA风险评估的基于迁移的照射确定制造技术
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下载用于AVA风险评估的基于迁移的照射确定的技术资料
文档序号:7606750
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根据本发明的优选方面,在此提供了用于将零偏移或堆叠波方程式照射分析扩展到角度道集域内的系统和方法,其中,其变为用于评估复杂覆盖层对于AVA响应的影响的有效工具。用于进行该操作的优选方法包含:首先建立角度道集,该角度道集具有良好的AVA响应(...
该专利属于BP北美公司所有,仅供学习研究参考,未经过BP北美公司授权不得商用。
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