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本发明属于磁控溅射领域，具体地说是一种磁控靶布气结构，包括靶座、极靴、靶材、磁钢及屏蔽罩，其中靶座位于样品的下方，在靶座内设有极靴，靶座的顶部安装有靶材，靶座及靶材外设有屏蔽罩；所述磁钢安装在极靴上，磁钢的上端面沿轴向截面为斜角；在屏蔽罩与...该专利属于中国科学院沈阳科学仪器研制中心有限公司;中科能（青岛）节能工程有限公司;南车四方车辆有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院沈阳科学仪器研制中心有限公司;中科能（青岛）节能工程有限公司;南车四方车辆有限公司授权不得商用。