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一种基于双层金属的低损耗表面等离子激元光波导制造技术
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下载一种基于双层金属的低损耗表面等离子激元光波导的技术资料
文档序号:7582094
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本发明公开了一种基于双层金属的混合型表面等离子激元光波导,该波导结构的横截面包括基底层(1)、位于基底层上的金属层(2)、位于金属层(2)上的低折射率介质层(3)、嵌于低折射率介质层(3)中的高折射率介质区域(4)、位于低折射率介质层(4)...
该专利属于北京航空航天大学所有,仅供学习研究参考,未经过北京航空航天大学授权不得商用。
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