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本发明在此揭露一种制造光盘片模板的方法，其包含以下步骤：(a)形成无机光阻层于基材上；(b)形成有机光阻层于无机光阻层上；(c)以激光照射有机光阻层以及无机光阻层，以形成无机光阻层的第一曝光区以及有机光阻层的第二曝光区；(d)移除无机光阻层...
该专利属于铼德科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过铼德科技股份有限公司授权不得商用。

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