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本发明属于计量测试技术领域，涉及化学成分量测试技术领域。本发明涉及的铝镓氮晶片外延层中铝元素含量的试验方法，采用熔融的氢氧化钠对铝镓氮晶片外延层多次刻蚀，刻蚀掉的样品经过盐酸中和，形成铝元素的强酸性溶液，采用分光光度法测定刻蚀液的铝元素与铬...
该专利属于中国兵器工业集团第五三研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国兵器工业集团第五三研究所授权不得商用。

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