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本实用新型公开了一种非接触式金属互连线电迁移测量装置，包括四探针，用于检测局部金属互联线的电阻；平行光光源，用于照射晶圆上的所有金属互联线；光学显微镜，用于实时采集所有金属互联线的光反射图像；计算机，用于依据光反射图像获取金属互联线的光强度...
该专利属于华中科技大学所有，仅供学习研究参考，未经过华中科技大学授权不得商用。

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