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一种基于液压原理的大平面微小位移平动驱动装置，本发明属于几何量计量技术，涉及对精密运动执行结构的改进。该装置包括位移发生膜片、壳体、液压油、导管、波纹管、丝杠、滑块、电机及相应的运动控制器。位移发生膜片安装在壳体上，壳体与导管相连，导管与波...该专利属于中国航空工业集团公司北京长城计量测试技术研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国航空工业集团公司北京长城计量测试技术研究所授权不得商用。