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常州华盛恒能光电有限公司
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用于拉制单晶硅的低能耗热场制造技术
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下载用于拉制单晶硅的低能耗热场的技术资料
文档序号:7554173
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本实用新型涉及太阳能行业或半导体行业的硅单晶制造领域,尤其涉及一种用于拉制单晶硅的低能耗热场,包括设置在炉体内壁处的保温筒,加热器、石英坩埚、托碗、托座和托杆,加热器设置在保温筒的内圈,石英坩埚设置在加热器的内腔,石英坩埚的外部包覆有托碗,...
该专利属于常州华盛恒能光电有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过常州华盛恒能光电有限公司授权不得商用。
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