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本实用新型在玻璃或金属基片上沉积导电膜或半导体材料的设备，设备至少有一台热蒸发沉积装置，该装置有管状加热器，与管状加热器组合对管状加热器保温隔热的管状保温隔热外罩，置于管状加热器内的导电膜或半导体热材料包裹于芯棒上成为热蒸发的靶材管，靶材管...
该专利属于甘国工所有，仅供学习研究参考，未经过甘国工授权不得商用。

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