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真空磁控溅射工件的自动排布、翻面、收集装置，包括真空腔体、磁控溅射靶和自动控制系统，还包括设在磁控溅射靶下方的工件溅射传送机，设在工件溅射传送机前端的工件托盘、工件抓取排布机构和工件托盘升降机构，设在工件溅射传送机中间的辊式翻面棘轮，设在工...该专利属于宁波科田磁业有限公司;宁波金田铜业（集团）股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过宁波科田磁业有限公司;宁波金田铜业（集团）股份有限公司授权不得商用。