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一种用于测量微米体积样品粘度和弹性的微流变计，它具有一个内表面比较光滑且深度为微米级的流体通道；所说的流体通道内集成有压力传感器阵列；所说的流体通道内具有几何变化，构成收缩和扩展区域。制作方法为：流体通道的制作：在晶片上进行腐蚀形成通道，通...
该专利属于国家纳米技术与工程研究院所有，仅供学习研究参考，未经过国家纳米技术与工程研究院授权不得商用。

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