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一种利用光刻在PDMS上直接形成图形的方法技术
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文档序号:7523301
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一种利用光刻在PDMS上直接形成图形的方法,其特征在于它包括如下步骤:①由PDMS基体和固化剂混合形成PDMS混合剂;②将苯甲酮晶体溶解于二甲苯中,形成苯甲酮溶液;在PDMS中加入苯甲酮,形成对紫外光敏感的PDMS;③先将玻璃片用硫酸双氧水...
该专利属于国家纳米技术与工程研究院所有,仅供学习研究参考,未经过国家纳米技术与工程研究院授权不得商用。
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