下载玻璃镀膜用的真空镀膜工艺室的技术资料

文档序号:7520046

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本实用新型公开一种玻璃镀膜用的真空镀膜工艺室,包括容器体、铝靶和传动辊,铝靶和传动辊均设于容器体内部,铝靶设于传动辊上方,容器体内壁和传动辊外表面上分别设有碳层。本玻璃镀膜用的真空镀膜工艺室结构简单,在现有真空镀膜工艺室的基础上增加碳层,使...
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