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本发明提供感光性树脂组合物，其是含有(A)、(B1)、(B2)、(C)和(D)的感光性树脂组合物，根据本发明的感光性树脂组合物，可以得到机械特性优良的图案。(A)碱可溶性树脂(B1)具有碳数2～4的环状醚结构和烯性不饱和键的聚合性化合物(B...
该专利属于住友化学株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过住友化学株式会社授权不得商用。

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