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一种等离子成膜装置，其处理腔室的上部靠近射频电极处设置有一个活性粒子吸引管，所述活性粒子吸引管与置于腔室外部的一个活性粒子的检测部件连通，所述检测部件与真空泵连通；所述检测部件通过数据传输线与一个控制部件连接；活性粒子能够被吸引到吸引管内并...
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