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一种具有大范围和高深-宽比测量能力的扫描隧道显微镜制造技术
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下载一种具有大范围和高深-宽比测量能力的扫描隧道显微镜的技术资料
文档序号:7501728
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本实用新型公开一种具有大范围和高深-宽比测量能力的扫描隧道显微镜。L型基座底板、第一转接板、X轴手动平移台、Y轴手动平移台、X轴直流电动平移台、Y轴直流电动平移台、手动倾角台、第二转接板、样品台顺次相连,L型基座侧板上部设有第三转接板,第三...
该专利属于浙江大学所有,仅供学习研究参考,未经过浙江大学授权不得商用。
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