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提供一种用于检测预定的红外或太赫兹波长范围内的电磁辐射的测辐射热阵列检测器，所述检测器包括：基板(16)；和通过支撑臂悬吊于基板上方的用于检测所述辐射的测辐射热微板阵列。它包括置于每个微板顶部和周围并且其中形成开口(26)的金属膜；和金属膜...
该专利属于原子能与替代能源委员会所有，仅供学习研究参考，未经过原子能与替代能源委员会授权不得商用。

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