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一种用于抛光含钛基材的抛光浆料制造技术
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下载一种用于抛光含钛基材的抛光浆料的技术资料
文档序号:7493071
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本发明一种用于抛光含钛基材的抛光浆料包括一种或多种氨基酸、去离子水和研磨颗粒;所述抛光浆料用于抛光含钛的基材。采用本发明一种用于抛光含钛基材的抛光浆料抛光含钛的基材时具有较高的钛/氮化钛的去除速率。...
该专利属于安集微电子(上海)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过安集微电子(上海)有限公司授权不得商用。
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