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本发明提供一种采用绝对位移反馈的主动减振系统，用以实现对负载主动减振，包括：至少三个减振单元，以实现对所述负载的六自由度的主动减振，所述减振单元上设置有绝对位移测量装置，所述绝对位移测量装置实时检测所述负载的绝对位移；减振控制单元，与所述至...
该专利属于上海微电子装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海微电子装备有限公司授权不得商用。

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