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一种PLC光器件的制造方法技术
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文档序号:7484853
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本发明属于平面光分路器(Planar?Lightwave?Circuit?Splitter,PLC?splitter)技术领域,具体涉及一种光波导的制造方法,包括:在硅片上生长一层二氧化硅;淀积光刻胶;光刻形成图形;在光刻胶之间的凹槽内形成...
该专利属于苏州东微半导体有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过苏州东微半导体有限公司授权不得商用。
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