下载溅镀装置的技术资料

文档序号:7476726

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一种溅镀装置,其包括一个中空的本体及容置于所述本体内的一个承载装置、一个驱动装置。所述本体包括相对的一个顶板及一个底板。所述承载装置包括一个圆环料架、一个圆环基座及多个料杆。所述圆环料架固定在所述顶板上,且由至少一个可挠性的组装板连接而成。...
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