下载基于SiC衬底的太赫兹GaN耿氏二极管及其制作方法的技术资料

文档序号:7467505

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本发明公开了一种基于SiC衬底的太赫兹GaN耿氏二极管及其制作方法,主要解决了现有耿氏器件结构输出功率低、散热不佳等问题。该二极管从下到上分别为SiC衬底、AlN成核层、n+GaN欧姆接触层、电子发射层、n-GaN有源层和n+GaN欧姆接触...
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