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本实用新型的光罩盒存放柜包括：柜体，设置于所述柜体内的进气夹层，和排气管；其中，所述进气夹层设有进气端和通孔，所述进气端与一气体供应设备连接；所述排气管设有排气端，所述排气端伸出所述柜体，所述排气管的管壁上设有多个通孔。本实用新型的光罩盒存...
该专利属于中芯国际集成电路制造（上海）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中芯国际集成电路制造（上海）有限公司授权不得商用。

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