下载一种坩埚的技术资料

文档序号:7447198

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本发明公开了一种坩埚涂层,其喷涂浆料由氮化硅、高纯水、聚乙烯醇及无水乙醇制成。如此,本发明公开的坩埚涂层,其能够提高坩埚的烧结效率、大幅降低坩埚的烧结温度、有效降低能源的浪费,且能够有效规避涂层开裂、硅锭粘锅的问题。本发明还公开了一种包括上...
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