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本发明涉及生物技术领域，公开了一种多孔硅生物芯片及其制备方法。本发明提供的多孔硅制备方法是采用氧化模式为恒电流电解、电流密度3mA/cm2、电解时间为500～700秒的电化学阳极氧化技术对单面抛光硅片进行腐蚀得到多孔硅，之后利用功能化的硅烷...
该专利属于中国科学院长春应用化学研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院长春应用化学研究所授权不得商用。

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