下载无极准分子灯的配气系统和配气方法的技术资料

文档序号:7444330

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本发明公开一种微波无极准分子灯的配气系统和配气方法,无极准分子灯的配气系统在真空泵前还设置一冷井,与第二三通阀的第三端口相连的管道上并联连接有洗气瓶,储气瓶,压力指示计,缓冲瓶和充气管道,真空配气系统能根据处理废水具体所需的紫外波长填充不同...
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